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该副基准装置采用一种基于非蒸散型吸气剂的选择性抽气方法,消除了真空容器内表面放气效应的影响,在国际上首次解决了静态膨胀法校准下限延伸的难题,抽气系统采用双分子泵串联抽空,前级为机械泵,外加非蒸散型吸气剂泵,极限真空达到10-9 Pa。
AG官网(1×10-4~1×102)Pa真空副基准装置复现的是真空度,其单位为Pa,属于具有专有名称的导出单位。真空计量是实施真空量值准确、可靠传递及真空环境下的测试。
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